随着社会的进步与发展，微电子、半导体、新能源电池等新领域也逐步进入人们的视野并极其迅速地发展。薄膜技术也随着材料科学的发展而兴起，透明导电薄膜作为一种兼具透明性和导电性的光电材料，激起了行业的广泛研究。

高质量太阳电池的性能强烈依赖于作为窗口电极的透明导电膜(TCO)的性能。TCO承担着透光和导电的双重作用，需要低的电阻率及高的透射率，应具有较好的光学特性及电学特性。提高TCO性能对于降低太阳电池成本具有决定性意义。本项目以开发及优化成本较低的透明导电氧化物薄膜为目标，替代高价的ITO，开展以铝掺杂氧化锌为基础的薄膜制备工艺的优化，促进高性能（结晶质量、电学特性、光学特性）、低成本AZO薄膜在异质结光伏电池上的大规模应用，该研究将实现组件成本的降低，对推动新能源产业的快速发展具有重要意义。