基于集成电路制程关键参数的移轴光学检测组件技术及产业化
时间：2023-4-4
基本信息：
| 所在单位： | 福建师范大学光电与信息工程学院 | 项目类型： | 制造业 |
| 所属领域： | 装备制造 | 项目年份： | 2023 |
| 项目状态： | 可产业化 | 技术成熟度： | 可产业化 |
| 联系人： | 林峰 | 联系人电话： | 暂无 |
| 项目投资经费： | 合作方式： | 其它 |
项目简介：
一种基于集成电路制程关键参数的移轴光学检测组件技术，该技术能够在266-825nm波段，观察及监测腔体内不垂直于观察轴的液滴形态、分布、沉积速度等重要的半导体制程参数，并具有长工作距及超短镜头长度及可转折光路等特点，同时拥有低杂光、宽容差、可产业化生产等特性。
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