原子层沉积装备与工艺
时间：2026-5-23
基本信息：
| 所在单位： | 天津大学 | 项目类型： | 科学研究、技术服务和地质勘查业 |
| 所属领域： | 新能源 | 项目年份： | 2026 |
| 项目状态： | 可产业化 | 技术成熟度： | 可产业化 |
| 联系人： | 翁子林 | 联系人电话： | 暂无 |
| 项目投资经费： | 合作方式： | 合作开发 |
项目简介：
本项目聚焦high-k固态源ALD设备的自主研发与产业化突破。目前已成功完成首台 12 英寸样机的自主研发与整机集成，关键工艺参数对标 ASM 同型设备达到国际先进水平。依托天津大学-华为公司合作项目，率先实现固态 HfCl4前驱体传输系统的全自主正向研发，成膜质量关键指标经华为公司专家检测全面达到且部分优于 ASM 基准值。
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